等离子体协助ＣＶＤ有三种类型 ：

１）微波等离子体ＣＶＤ（ＭＰＣＶＤ，微波激发频率通常为２．４５ＧＨｚ）；

２）ＲＦ等离子体ＣＶＤ（通常激发频率是１３．５６ＭＨｚ）；

３）直流等离子体ＣＶＤ。

相对于其他方法，MPCVD法优势如下 ：

１）反应器的简单、灵活和商业可用 ；

２）微波非等温等离子体的稳定性和可重复性，允许连续沉积数十小时或数百小时，并且样品质量可重现；

３）高能量效率（高等离子体密度和低鞘电势），保障合理的成本；

４）具备生长大尺寸金刚石薄膜能力 ；

５）与其他ＣＶＤ技术（例 如２０００°Ｃ 的 ＨＦＣＶＤ）相比，沉积温度相对较低，因此外延层和衬底之间的热失配和所产生的应力较小 。